1.처음에
2.클린
룸의 기초
클린 룸의 정의
일반실과의 달라
［연습 1］청정도의 이미지(그
1)
［연습 2］청정도의 이미지(그
2)
왜 더러워져?
자주(잘) 사용되는 청정도 클래스
ISO 청정도 클래스
ISO 청정도 클래스 선도
ISO 청정도 클래스 수치표
클린 룸이란?
클린 룸의 구조의 일례
클린 룸의 용도 종류·공기의
흘리는 방법에 의한 종류·구조에
의한 종류
ICR란?
BCR란?
한방향류형클린 룸
비한방향류형클린 룸
베이 방식, 무도회장 방식
무도회장 방식, 국소 방식
수직 한방향류형클린 룸내의
기류의 흐름
환기 회수란?
클린 룸의 발상과 형식의 변천
3.클린
룸내의 오염물질이란?
클린 룸내의 오염물질이란?(제어
대상의 변천)
4.먼지·미스트
［먼지］발진·확산 기구·측정
방법
왜, 아직 먼지인가?
에어로졸의 입경
［연습 3］공기중에서의 미소
입자의 이동
클린 룸 정지 후의 실내의 먼지의
흐름
유선을 타지 않는 먼지의 예
카스케이드인파크타의 개략
구조
미소 미스트의 증발 시간
클린 룸내의 먼지
수직 한방향류형클린 룸의 첫
시작시의 먼지 거동
수직 한방향류형클린 룸으로의,
순간·점발진에 의한 먼지 확산
점발진원으로부터 순간발진
했을 경우의, 먼지 확산 범위(오염
범위)
기류가 구부러지는 경우의,
먼지의 거동·확산
수직 한방향류청정 영역내의,
연속·점발진에 의한 먼지 확산
제품과 사람과 제조 장치의
위치 관계의 일례
물건으로부터의 발진
클린 룸내에서 일반종이를 찢었을
경우의 발진상황
클린 룸내에서 일반 사무용의
종이 파일을 털었을 경우의 발진상황
의류의 접동에 의한 발진량의
측정
의류의 접동에 의한 발진량
옷감을 통한 발진량의 측정
각종 접동에 의한 발진
제조 장치내의 가동 기구로부터의
발진
사람으로부터의 발진
맨손 두드리기에 의한 발진
클린 장갑은 위나 아래인가?(클린
장갑이 위의 경우)
클린 장갑은 위나 아래인가?(클린
장갑이 아래의 경우)
클린 장갑은 위나 아래인가?(그
외)
클린 슈트 소맷부리로부터의
발진
클린 장갑을 비비는 것에 의한
발진
클린 장갑에서는 축 것에 의하는
발진
클린 슈트내의 압력 측정단의
부착
다리 굽힘과 폄에 의한, 클린
슈트내의 압력 변동
다리 굽힘과 폄에 의한, 클린
슈트를 통한 발진
정위치팔모습에 의한 발진상황
［연습 4］인체로부터의 먼지
확산 범위
제자리 걸음에 의한 발진상황
클린 장갑 수선에 의한 발진상황
기침에 의한 타액 미스트의
발생·비산 상황과 그 억제
클린 룸내 작업자로부터의 발진기구
먼지의 측정 방법
먼지 흡인단 샘플링(등속 흡인)
광산란식 먼지(개수) 농도계
5.케미컬
오염물질
［케미컬 오염물질］아웃 가스·확산
기구·측정 방법
아웃 가스란?
그럼, 공기중만을 조사해 두면
좋은 것인지?
케미컬 오염
어떤 악영향이 있는지?
케미컬 오염물질의 종류와 악영향(그
1, 2)
AMCs의 분류
AMCs에 의한 악영향의 예
케미컬 오염물질은 어떻게 퍼질까?
케미컬 오염물질의 상황을 알기
위해서 → 공기 분석을 실시한다
AMCs의 농도 표시
대상 물질의 분류
포집 방법이라고 분석 방법의
편성
［참고］유기물의 비점에 의한
분류(WHO에 의한다)
인핀쟈 포집
컬럼 포집
기판 포집법
기판 포집법(확산 폭로법(수평
폭로))
기판 포집법(확산 폭로법(수직
폭로))
기판 포집(강제 폭로법)(그
1, 2)
wafer 반송 용기의 일례
WTD-GC-MS
WTD-GC-MS(개념도)
기판 포집：파깨어진 조각을
만드는 방법
기판 표면에의, 유기 성분의
선택적 흡착
필터 포집
캐니스터 포집
기기 분석
이온 크로마토 그래프법
가스 크로마토그래피-질량분석법
고속 액체 크로마토그래피
유도 결합 플라스마-질량분석법
분석에 관한 혼동하기 쉬운
명칭
케미컬 오염물질의 파악과 대책
6.균류
［균류］기본적인 측정 방법
스릿트산프라
핀호르산프라
다공판산프라
안다센·산프라
유선을 타지 않는 먼지의 예
카스케이드인파크타의 개략
구조
(원심) 충돌법
인핀쟈법
충돌법에 따르는 포집의 일례
여과법
낙하균검사법(낙하법)
스텐레스 강판법
최대 허용 입자수, 및 최대
미생물수(FDA,및 EU-GMP)
무균 제재 공정 에리어의 생균수
EU에 있어서의 허용 한도
배양지와 배양 조건의 예
［균류］낙하법의 일례
낙하법의 일례(실험예)(그 1,
2)
한천 원주법
로닥크·플레이트법
스와브법
세내밀기법
7.먼지의
제거
［먼지］입자 필터의 구조와
짜(포집 원리)
HEPA/ULPA 필터는 언제 바꾸고
있는지?
［먼지］HEPA 필터에 의한,
미소 대기티끌 포집
입자 필터 섬유의 형상
입자 필터의 포집 원리
입자 필터의 성능(그 1)
입자 필터의 포집 기구(그 1~3)
입자 필터의 성능(그 2)
각종 용어 사전에 의한, HEPA/ULPA
필터의 해설
입자 필터 투과율의 실례
8.케미컬
오염물질의 제거
［케미컬 오염물질］필터의
구조와 짜(포집 원리)
이온 교환형태 섬유···산성
가스·알칼리성 가스·불순물의
제거예
흡착제
흡착제(활성탄)에 의한 대상
가스의 물리적 포집
흡착제＋반응 물질의 담지
흡착제(활성탄)＋반응 물질의
담지에 의한, 대상 가스의 물리적＋화확적
포집
흡착제(활성탄)＋반응 물질의
담지시킨, 각종 pellet
［연습 5］케미컬 오염물질
측정시의“블랭크”란 무엇인가?
［연습 6］클린 룸 계통내의
케미컬 오염물질 농도
［연습 7］CF의”파과(는인가)”란
무엇인가?
9.이오나이자
이오나이자에 대해
이오나이자의 종류와 원리
이오나이자(미약 X선식)
종래의 코로나 방전식 이오나이자의
문제점
전극 재질 변경에 의한 해결
시스 에어에 의한 해결
10.작업자
관리·교육
클린 룸내의 작업원 관리와
작업원 교육
클린 룸의 4 원칙
클린 룸내 작업자의 클린 슈트의
오착용
클린 슈트를 착용한 사람의
동작·위치에 도착해
작업자의 인식에 대해
규율과 행동
클린 룸 차압 성능
작업자에게의 교육·훈련 항목(그
1~3)
작업자에게의 교육·훈련 항목［모니터링과
시정 행동］,［안전］
작업자에게의 교육·훈련 방법
클린 슈트의 선정 방법
클린 슈트의 필터 효율과 체조발진량과의
관계
클린 슈트 선정의 요건
클린 슈트 세탁의 빈도
클린 슈트의 열화
클린 슈트 등, 에 임해서
클린 슈트에 대해
에어 샤워에 대해서, 그 외
클린 룸에의 반입에 대해
11.대책
먼지/케미컬 오염물질의 취급
방법(대책)
대책을 위해서, 우선 대상을
파악한다(측정의 실제)
측정의 실제(먼지(기류))
모의 작업에 의한 오염 상황의
파악
순수한 물 가시화 장치에 의한
가시화의 상황
먼지에 기인하는 오염 기구의
해명
레이저 시트와 촬영의 위치
가시화 시스템의 운용
모의 제조 장치 회전의 기류
클린 벤치내의 구석 각부의
기류 가시화
［클린 벤치＋책상］상태의
차이에 의한, 벤치내의 기류의
변화
제품에 있어서 보다 좋은 환경을
위해서
대책의 요점(그 1~3)
12.제조
환경 개선 사례
대책(개선) 사례
대책(개선) 사례(먼지(기류))
모의 수술의 상황
수술실의 기류 개선(그 1, 2)
모의 기기 또는 작업대 회전의
기류 성질과 상태 개선(그 1,
2)
［연습 8］클린 벤치(CB) 안쪽의
체류 해소
［연습 9］CB내 테이블의 개선
［연습 10］좁은 영역의 청정화
대책(개선) 사례(케미컬 오염물질)
오염물질에의 대책 방법
케미컬 오염 제어에 대한 구체적인
기술
분자 오염 대책 항목
클린 룸 시스템에 있어서의
검토 대상 부위
클린 룸 구성재의 선정
대책(개선) 사례(생물학적 청정도)
균류 억제의 일례
항균 FCU(살균의 원리)
항균 FCU의 효과(그 1, 2)
개선 실적예
대책의 정리
13.청소
클린 룸의 청소
청소의 종류와 기본
청소의 방법
시판 와이퍼의 예
클린 룸의 클리닝(청정화제와
기구)(그 1~5)
클린 룸의 클리닝(청소의 분류)···간이
청소·보통 청소
클린 룸의 클리닝(청소의 분류)···정밀
청소·기록
클린 룸의 클리닝(청소의 분류)···진공
청소
클린 룸의 클리닝(청소의 분류)···습식
청소
클린 룸의 클리닝(청소의 분류)···자루걸레
청소
클린 룸의 클리닝(청소의 분류)···닦아서
깨끗이 함 청소
클린 룸의 클리닝(특정 표면의
청소)···마루, 마루밑
클린 룸의 클리닝(특정 표면의
청소)···벽, 비, 창, 수직
표면, 흡입구
클린 룸의 클리닝(특정 표면의
청소)···천정, 조명기구, 분출구,
의자, 가구, 접서두리
클린 룸의 클리닝(특정 표면의
청소)···테이블, 그 외의 중요
수평 표면, 제조 장치
클린 룸의 클리닝(특정 표면의
청소)···카트, 운반차, 로커,
캐비넷, 수납 용기
클린 룸의 클리닝(특정 표면의
청소)···쓰레기 용기, 매트,
점착성 바닥재
클린 룸의 클리닝(주의점)···탈의실,
반송 영역
클린 룸의 클리닝(주의점)···클린
룸 시설 전체의 완전 청소
클린 룸의 클리닝(주의점)···긴급시의
청소
각종 제조 장치 클리닝(개요)
각종 제조 장치 클리닝···반입시
각종 제조 장치 클리닝···설치시
각종 제조 장치 클리닝···점검·수리시
클린 룸 설비·비품의 청소(그
1~4)
14.클린
룸 관련 규격의 동향
클린 룸 관련 규격의 동향
클린 룸 관련 규격의 상관
ISO14644, 14698 규격
JIS 규격, JACA 지침
표면 청정화의 컨셉
청정화의 대상 범위(개요)
오염과 그 원인(개요)
ISO14698
15.클린
룸 성능 평가 항목
클린 룸 성능 평가 항목
성능 평가방법 구체적인 예
입자 농도
입자 계측 시험의 빈도
표준의 청정도 클래스 평가방법(그
1~4)
순서대로 샘플링법에 따르는
청정도의 평가방법(그 1, 2)
기류 속도와 풍량
기류·풍속 시험
측정 방법
풍량
기류 상태(그 1, 2)
기류 상태(예：몇 안 되는 사류)
각뿔대형 분출구로부터의 송풍
기류
필터 리크
필터 리크의 원인
필터 리크 시험
16.클린
룸의 에너지
17.클린
룸 참고 문헌
1.클린 룸 전반에 관한 것
2.에어로졸 공학에 관한 것
3.바이오 깨끗에 관한의
4.용어 사전류
5.유체 역학에 관한 것
6.클린 룸의 규격
7.그 외(주로 논문·규격류)
클린 룸 전반
에어로졸·먼지
바이오 클린
계측 전반
미립자, 기류 가시화
규격류
18.강사(저자)로부터
마지막에
【그리고
마지막에 복습도 할 수 있는 특전!※서적의
권말을 뒤따르고 있습니다.】
●연습 문제 1~10
●연습 문제의 해답과 상세한
해설
【참고：2008년
10월 세미나시의 강연 항목】
＜취지＞
이 강좌는, 클린 룸 업무에
관련되는 모든 분들을 대상으로
하고 있습니다.특히 사전의 지식은
필요 없습니다.전문 용어는 도중에
설명해 갈 것입니다.내용은 기초로부터
내리 설명하고, 오염 대책이나
청정 환경 유지등의 응용면에까지
해설을 진행시켜 나갑니다.전체를
통해 비주얼 교재(동영상·도·표·사진＋음성)를
많이 사용해, 한편, 성공 실례도
나타내 보이면서, 이해를 돕습니다.
또, 「발진·먼지 확산·기류
가시화 동영상」의 CD를 배포하겠습니다.(※주：당시의
세미나 참가자만의 특전입니다.)
이쪽도, 참고로 해 주세요.관련하는
국내외 규격의 최신 동향이나,
종래부터 최근까지의 각종 참고
문헌도 표지 삽화로 소개합니다.
1.클린
룸과는 원래 무엇인가?
1.1 정의
1.2 청정도를 구체적인 예로
이해한다
1.3 분류·종류
1.4 역사
2.클린
룸내의 오염물질이란?
3.먼지에
대해서 안다!
3.1 기본적인 성질
3.1.1 기류를 탈 때, 타지
않을 때
3.1.2 정지 거리와 종말 침강
속도
3.1.3 확산은 어떻게?
3.2 물이나 운동 기구로부터의
발진
3.3 명으로부터의 발진
3.3.1 각종 의류(함, 클린
슈트)로부터의 발진
3.3.2 피부와의 관련되어
3.3.3 수 회전의 발진
3.3.4 정위치에서의 발진
3.3.5 보행발진
3.3.6 어느 정도 퍼지는지?(확산
범위)
3.3.7 슈트내의 압력 변동
3.3.8 일정한 운동에 의한
발진량
3.3.9 클린 슈트 선정의 생각
3.3.10 세탁 빈도는?
3.4 구체적인 측정 방법
4.케미컬
오염물질에 대해서 안다!
4.1 분류와 표현의 방법
4.2 발생 원인과 악영향
4.3 구체적인 측정(포집＋분석)
방법
5.균류에
대해서 안다!(기본적인 측정 방법)
6.먼지/케미컬
오염물질에의 대책
6.1 우선 현상 파악 → 보이는
화(가시화)가 유효
6.2 입자 필터/케미컬 필터의
원리
6.3 보편적인 대책 컨셉
6.4 제거/억제/회피의 스킬
6.5 개선 사례로부터 배우는
7.작업원
관리와 작업원 교육
7.1 지켜야 할 원칙
7.2 올바른 복장
7.3 명의 위치·동작에 대해
7.4 교육의 요점/주의점
8.클린
룸의 청소
8.1 종류
8.2 각부위의 청소 방법·빈도
8.3 클린 룸 운전 정지시의
먼지 거동
9.클린
룸의 국내외 관련 규격의 동향
9.1 ISO 규격, JACA 지침, JIS
규격, 등의 현상
9.2 최신 동향
10.참고
문헌 소개
초급~상급자 전용까지,
주요한 것을 표지그림과 함께
소개
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